加工実績
液晶製造装置用プレートチャンバー
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液晶製造装置用プレートチャンバー
機密保持のため写真非掲載
- 材質
アルミ（A5052）
- サイズ
175×2,950×2,950
- 精度
平行度：0.05
平面度：0.05- 用途
液晶製造装置用チャンバー
- 参考納期
2週間
設計の工夫・ポイント
自重たわみを考慮して設計、加工を実施。
温度管理の徹底により、精度ブレを防止した。
その他の加工実績
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SS400製チャンバー（無垢材から切削）
- 材質
鉄（SS400）
- サイズ
438mm×430mm×217mm
（開口部：132mm×360mm）- 精度
穴の真円度：0.2mm
- 参考納期
14日
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アルミチャンバー（アリ溝加工）
- 材質
アルミ（A5052）
- サイズ
440mm×457mm×285mm
- 精度
アリ溝部分：5/100
R部分：5/100- 参考納期
10日
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FC300製の門型加工機用部品（段差のくり抜き加工）
- 材質
FC300
- サイズ
2465mm×930mm×810mm
- 精度
一般公差にて対応
- 参考納期
10日